作者 前台积电建厂专家 Leslie Wu编辑 苏扬工信部的一份文件，再次将国产光刻机研发推入公众视线。9月9日，工信部旗下账号“工信微报”披露了工信部于9月2日签发的关于引发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》的通知文件（如下图）。通知文件的“电子专用装备”的第一项即“集成电路生产装备”，其中明... 为加强高频...